T/FJAS 006-2024 濕電子化學品 再生光阻剝離液

范圍

本文件規(guī)定了再生光阻剝離液的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。

本文件適用于以濕電子化學品行業(yè)含光阻剝離液回收液為原料，經(jīng)過提純的光阻剝離液再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品)，主要用于顯示面板制造行業(yè)等。

術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

濕電子化學品  wet chemicals

濕電子化學品又稱超凈高純電子化學品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料。

光阻剝離液

一種有機混合物，主要用于面板制造行業(yè)的光阻剝離，主要成分為乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)。

回收液  Iiquid recycIing

主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)、廢光刻膠、水分、金屬雜質(zhì)等。

技術要求

產(chǎn)品的質(zhì)量技術指標應符合表1的要求。

試驗方法

水分的測定

按 GB/T 6283 的規(guī)定進行測定。

GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)

艾瑞斯ARS-WL500卡爾費休庫侖法微量水分測定儀